BPE-400 4" probe station 探針台

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產品內容

BPE-400 4" probe station
specification:
1.4"wafer stainless vacuum chuck
2.chuck x-y stage
行程
101.6mmx101.6mmring
3.Chuck X-Y stage distance 4”x4”
4.Chuck theta rotation 0°
360° manual微調
5.Platen U
型固定不動

6.chuck x-y stage
最小移動距離2um
7.chuck
面積4"卡盤平整度
:5um
9.Box
底座尺寸(450mmx320mmx50mm
)

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公司資訊

  1. 統一編號53131488
  2. 聯絡人簡銘村
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