HFC-303質量流量控制器

商品介紹：品牌 KOFLOC 型號 HFC-303 類型 質量流量計 測量範圍 0.0006-1.2（m3/h） 精度等級 ±1.0%F.S. 以內 發貨期限 10天內發貨 適用介質 氣體 工作壓力 0.98（MPa） 工作溫度 15-35（℃） 產品說明 F.S.流量 空氣換算 10SCCM-20SLM 閥執行機構 電磁常閉 控制範圍 2%-100%F.S 應 答 性 應答速度≤3秒 精 度 ±1.0%F.S.以內 再 現 性 ±0.25%F.S.以內 動作差壓 147KPa-343KPa 耐 壓 3.4MPa 泄 露 率 1 × 10–8Pa m3/second或更小 操作溫度 15～35°C 接觸介質的材質 本體: SUS316L,Ni,SUS302 底座：.Viton 密封墊:Viton 連 接 標準：1/2SWL，（3/4SWL當F.S.>300SLM） 可選：3/4SWL 電氣連接 15針插座 控制信號 0-5VDC 輸出信號 0-5VDC 電 源 +15 VDC (±5%) 150 mA 產品針對大流量空氣驅動式半套舒壓