氬離子束樣品裝備系統

可獨立分別調整能量和拋光角度的雙離子槍，橫截面拋光和平面拋光兩機一體，氬離子槍能量範圍從100eV到10kV。 單鍵全自動化操作，操作參數可儲存，即時影像觀察樣品剪薄的過程，操作簡易，維護方便。 樣品載台自動高度偵測(eucentric point)，Cross-Section polishing(離子束剖面研磨)，Cross-section station精準的對位系統，簡易的操作介面。Ion milling (surface cleaning) and EBSD sample preparation桃園小蜘蛛吊車