光罩傳送盒

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化機台。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。