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KT1000FA設備採電熱水洗式設計，比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成
本，也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較
高，台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA
堅固耐用且安全，第一部售出的機台已逾八年，至今仍未除役，深受
客戶肯定。
適合處理: Deposition gas
SiH4, SiH2Cl2, WF6, NH3, PH3, SiCl4, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, 3MS, 4MS etc.
適合處理: Cleaning gas:
NF3產品吊卡
公司資訊
- 統一編號29048242
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